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      晶體定向儀:
      0415-2155900
      傳真電話:
      0415-2155887
      無損探傷儀:
      0415-2150150
      傳真電話:
      0415-2151390
       
      YX-5A高精度晶體定向儀


         YX-5A高精度藍寶石晶體定向儀:是在YX-2D6A定向儀基礎上升級產品,配置單色器,數字顯示為6位,最小讀數1″,精度±15″針對單晶硅、藍寶石、砷化稼等多種晶體設計,主要用于晶圓片、晶棒的測量,操作方便,顯示器為外置式,樣品臺加裝承重軌道,屬于通用熱銷機型。
         標準配置如下:GA, GB測角儀
         1、一側GA測角儀能測晶體Φ2---Φ6英寸晶圓片;111, 100, 等角度;能測晶棒參考面110;OF等角度。藍寶石A,C,R面等角度。
         2, 另一側GB專為晶棒設計,設計為寬130,長300平托板,配2個可移動尼龍V型槽晶棒托,能測Φ2---Φ6英寸晶圓片;能測晶棒端面Φ2---Φ6英寸, 長400晶棒 ;如:硅(111)(100)藍寶石C面等角度;第一個測2---3英寸端面,第二個測4---6英寸端面。

        主要參數:

      項 目

      參 數

      晶棒直徑

      2---6英寸、最大8寸

      晶棒長度

      400 mm

      樣品板面積

      43寬×70高mm

      衍射方式

      前置 單色器,

      定向精度

      ±15″

      數顯方式

      θ:度、分、秒;

      數顯單位

      6位顯示 ;最小讀數1″

      顯示器

      立式外置

      技術指標

      符合YX-2參數。

       

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