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      晶體定向儀:
      0415-2155900
      傳真電話:
      0415-2155887
      無損探傷儀:
      0415-2150150
      傳真電話:
      0415-2151390
       
      YX-6FX射線晶體復檢儀

      用途:將粘接好的晶棒,連同料板一同拿到YX-6F定向儀上,料板底部靠在測角儀的基準面上,打開光閘進行復檢測量。YX-6F可對粘接好的晶棒進行X軸的復檢測量,測量后的結果可與YX-6D的打印結果進行對照,如有差異,可將晶棒從料板取下,重新粘接,大大保證了切割前晶棒的粘接精度。

      技術參數:

      X射 線 管

      銅靶,陽極接地,強迫風冷

      管 電 壓

      30KVP,全壓合閘

      管 電 流

      0---5mA,連續可調

      整 機 功 率

      不大于0.3KW

      定 向 精 度

      ±30″

      蝸輪運動誤差

      不大于30″

      計數器轉角度

      -10°------+100°

      樣品轉角度

      -10°------+50°

      計 數 管

      蓋革管,電壓600-----1100V

      時間常 數

      分0.1、0.4、3秒三檔可調

      保 護

      高壓連鎖保護,溫度保護

      狹 縫

      4′、5′、6′

      外 型 尺 寸

      1200mm×650mm×1100mm

      儀 器 重 量

      250KG

      測樣品直徑

      硅單晶 Φ3---Φ8英寸晶圓片;

      測晶棒長度

      硅單晶 Φ3—8英寸;500毫米長晶棒

       

       

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